Messen niedrigster Differenzdrücke

Sensortechnics neue LBA-Sensoren messen niedrigste Differenzdrücke in Bereichen von 250 und 500 Pa Messbereichsendwert. Durch eine vollständig analoge CMOS-Signalaufbereitung bieten die Sensoren lineare und temperaturkompensierte Ausgangssignale mit einer hohen Auflösung von typ. 0,1% und sehr schnelle Reaktionszeiten von typ. 1 ms.

Die LBA-Sensoren basieren auf der thermischen Massendurchflussmessung von Gas durch einen sehr kleinen, im Sensor-Chip integrierten Strömungskanal und bieten eine sehr hohe Empfindlichkeit und Offset-Stabilität. Dieser enge Kanal verringert den Gasfluss durch den Sensor und dessen Verbindungsschläuche um mehrere Größenordnungen im Vergleich zu herkömmlichen durchflussbasierten Drucksensoren. Die LBA-Differenzdrucksensoren sind daher unempfindlich gegenüber Staub und Feuchtigkeit.

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