Schichtdickenmessung

Ein EPP-Miniatur-Spektrometer gekoppelt mit einem Reflexionsmesskopf und einer fiberoptischen Lichtquelle ermöglicht Oberflächen- bzw. Schichtdickenmessungen zwischen 5nm und 200µm. Das System ist speziell für den Einsatz in der Forschung und Industrie bestimmt. Interessant ist das System für alle Dick- und Dünnfilmanwendungen auf Halbleitern, weichen Materialien, Kunststoffen, Glas, Metallen, Papier und anderen Trägern. Das Spektrometer zeichnet sich durch einen sehr geringen Streulichtpegel aus, da beim Aufbau der optischen Bank keine Spiegel oder andere lose Komponenten eingebaut wurden. Es können auch raue Oberflächen oder Multilayer-Beschichtungen vermessen werden.