Schichtdickenmessung im UV/VIS/NIR-Bereich

Das Unternehmen tec5 liefert hochwertige OEM Komponenten sowie Spektrometersysteme im kompakten Design auf Basis modernster ­Diodenarray- und Fiberoptic-Technologie für die Schicht­dickenmessung im UV/VIS/NIR-Bereich.

Mit hohen Messfrequenzen im Millisekunden-Bereich lassen sich transparente Einzel- und Doppelschichten von 0,1 - 100 μm Dicke berührungslos bestimmen. Für kontinuierliche Messungen eignet sich ein Gerät der MultiSpec-Serie, das mit seinem 19"-Format leicht in den Prozessaufbau integriert werden kann.

Für Laboranwendungen wird ein besonders preisgünstiges Gerät der Evaluation Line angeboten, das auch als Akkuversion mobil einsetzbar ist. Die verwendeten MMS-Spektralsensoren von Carl Zeiss garantieren dabei aufgrund ihres monolithischen Aufbaus eine ausgezeichnete Wellenlängenlangzeitstabilität und damit Schichtdickenmessungen mit hoher Präzision.

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