Universeller Gasanalysator

Die neuen Gasanalysatoren der UGA-Serie arbeiten von oberhalb Atmosphärendruck bis hinunter in den UHV-Bereich. Die Nutzbarkeit der Systeme erstreckt sich von der Online-Überwachung bis zur kompletten Analyse von Gasgemischen. Einsatzbereiche sind das große Feld der Halbleiter-, Brennstoffzellen-, Umwelt-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Ob Sie Spuren von Fremdstoffen, Lösemitteln, Kohlenwasserstoffen, Kühlmitteln oder korrosiven Gasen suchen, das UGA ist das richtige Gerät hierfür.

Das UGA enthält eine 2stufige Druckreduktionsstufe zur Abnahme von Proben bei Atmosphärendruck. Nach der Druckreduktion wird der Gasstrom über ein Massenspektrometer (Restgasanalysator) geführt. Dieses misst die Konzentrationen der interessierenden Massen.

Das System besteht aus 2 Pumpen, Ionisator mit Quadrupolfilter und Detektor, Elektronikeinheit und Echtzeit-Software auf Windowsbasis. Der Messkopf enthält einen Faraday-Detektor. Zur Steigerung der Empfindlichkeit und Verkürzung der Messzeiten kann zusätzlich ein Sekundärelektronenvervielfacher eingebaut werden. Durch Autokalibrationsroutinen ist dies vom Anwender selbst vornehmbar. Ebenso
kann binnen weniger Minuten das Filament ersetzt werden.

Die Software bietet vielfältige Auswerte- und Anzeigemöglichkeiten, wie Druck über der Massezahl, Druck über der Zeit, Histogrammmodus, Leckdetektion, eine umfangreiche Bibliothek, Messtabellen oder Grenzwerttabellen. Das System kann zusätzlich manuell von der Frontplatte aus bedient werden.

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