UV-CCD-Kamera C8484-16C

Die neue, digitale CCD-Kamera C8484-16C von Hamamatsu ist für Anwendungen im ultravioletten Spektralbereich entwickelt worden. Die digitale CCD-Kamera ist von 190 nm bis 1000 nm empfindlich und kann mit Excimer-Laser-Quellen bei 193 nm (ArF) oder bei 248 nm (KrF) verwendet werden. Bei 200 nm verfügt sie über eine Quanteneffizienz von 40%. Die hohe, laterale Auflösung von 1344 x 1024 Pixeln bei einer Pixelgröße von nur 4,65 µm x 4,65 µm eröffnet neue Möglichkeiten in der UV-Lithografie bei der Masken-Inspektion oder bei der Objektiv-Herstellung.

Die neue Kamera liefert 12-bit-digitalisierte Signale, welche über ein CameraLink-Interface zu einem Rechner geleitet werden. Bei voller Auflösung beträgt die Bildrate 11,9 Hz und kann durch 4x4 Binning auf 35,7 Hz gesteigert werden. Der sehr kompakte Kamerakopf, externe Trigger-Möglichkeit und ein Standard-C-Mount-Objektivanschluß ermöglichen problemlose Integrationen in komplexe Mess-Systeme.