Weißlicht-Interferometer mit Multisensor-Konzept

Das TopMap Pro.Surf von Polytec ist ein Weißlicht-Interferometer, das speziell zum Messen großer Flächen konzipiert wurde. Das einzelne Messvolumen (ohne Stitching) von 30 x 40 x 70 mm³ besticht durch seine vertikale Auflösung im Nanometer-Bereich bei gleichzeitig hoher lateraler Auflösung. Für Anwendungsfälle, in denen es auf eine noch höhere laterale Auflösung ankommt (z.B. eine zusätzliche Rauheitsmessung), steht nun das Multisensor-Konzept mit integrierter chromatisch-konfokaler Messtechnik zur Verfügung.