Amsys präsentiert das miniaturisierte 24-Bit-Triple-Sensor-Modul MS8607 zur Messung des barometrischen Druckes, der Temperatur und der relativen Feuchte.
Das Kombinationsmodul MS8607 besteht aus zwei MEMS-Messelementen auf Siliziumbasis. Das erste ist eine piezoresistive Messzelle, die den Druck und die Temperatur misst und das zweite ist eine kapazitive Messzelle, die die relative Feuchtigkeit ermittelt. Beide Sensorelemente werden durch einen integrierten ΣΔ- ADC ausgewertet, der die nicht kompensierten, analogen Spannungswerte der Messzellen verstärkt und digitalisiert.
Die Druck- und Temperaturwerte werden in 24-Bit-Datenworte, die relative Feuchtigkeit in ein 16-Bit-Wort gewandelt. Die Datenwerte stehen als unabhängige Ausgangssignale im I²C-Format zur Verfügung. Das interne I²C-Interface dient zur Kommunikation mit einem externen Mikroprozessor. Dieser verknüpft die Ausgangsignale in einem einfachen Algorithmus mit den gespeicherten, individuellen Korrekturkoeffizienten und gleicht somit die Messwerte ab.