Überwachung von Partikelverunreinigungen

Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagementsystem zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halbleiterindustrie. Es misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen (Front Opening Unified Pod, kurz FOUP, sowie Front Opening Shipping Box, kurz FOSB). Das vollautomatische Verfahren erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche der Transportboxen einschließlich der Türen.

Der Hauptvorteil des trockenen Verfahrens (Dry Particle Counter) des ADPC gegenüber der herkömmlichen nassen Methode (Liquid Particle Counter) liegt darin, dass die Partikelmessung vollautomatisch abläuft. Dadurch ist kein zusätzlicher Bediener erforderlich. Die Testdauer beträgt nur sieben Minuten. Damit ist das ADPC 302 viermal schneller als herkömmliche Systeme. Es können bis zu acht Transportboxen innerhalb einer Stunde geprüft werden.