Excimerlaser

Die TuiLaser AG stellt mit dem Xantos STM eine neue Generation kompakter Excimerlaser vor, die sich durch einen deutlich reduzierten Installationsaufwand vom Markt abhebt. Zum ersten Mal ist bei einem kommerziell erhältlichen, kompakten Excimerlaser das komplette Gasversorgungssystem integriert. Dies reduziert die Planungs-, Investitions- und Unterhaltskosten des Anwenders, vereinfacht die Handhabung und leistet einen wertvollen Beitrag zur Erhöhung der Arbeitssicherheit. Zusätzlich verfügt der neue Xantos STM über alle notwendigen Interlocks und Warneinrichtungen, inklusive Sicherheitsshutter am Strahlaustritt.

Der Xantos STM baut auf der bewährten Corona-Vorionisation und der neuesten Generation von Festkörper-Pulskompressionsschaltkreisen auf, um eine höchst homogene Pumpentladung zu erzielen. Das Gerät wird mit einer Repetitionsrate von 200Hz oder 500Hz und einer Wellenlänge von 193nm oder 248nm angeboten, erreicht bei 248nm eine Energie bis zu 18mJ und weist eine Energiestabilität von < 2% (Standardabweichung) auf.