Auriga Laser: Kombination von FIB/SEM-Technologie und Laser-Ablation für schnelle Probenpräparation

Auriga Laser kombiniert die Vorteile einer Crossbeam-Elektronen-/Ionenmikroskop Workstation mit dem extrem schnellen Materialabtrag eines gepulsten Mikro-Fokus Laserstrahls. Das System eignet sich vor allem für mikroskopische Untersuchungen, bei denen die Zielstruktur tief unterhalb der Probenoberfläche liegt. Hierfür muss das über der Zielstruktur liegende Material entfernt werden. Mechanische Ablation oder Querschnitte durch große Materialmengen führen häufig zu Verformungen, so dass die Probe für weitere Untersuchung ungeeignet wird. Die alternative Verwendung des Galliumionenstrahls zum Abtrag größerer Materialmengen ist ineffizient, da der Prozess zu viel Zeit in Anspruch nimmt. Materialabtrag mit einem gepulsten Mikro-Fokus Laserstrahl hingegen schädigt die Probe nicht und ermöglicht eine Abtragrate, die vergleichbar mit mechanischer Ablation ist.

Kategorie C: Laborgeräte

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