Fokussierte Ionenstrahl Rasterelektronenmikroskope

Zeiss präsentiert eine neue Generation Fokussierter Ionenstrahl Rasterelektronenmikroskope (FIBREM) für High-End-Anwendungen in Forschung und Industrie.

Das Crossbeam 550 kommt mit gesteigerter Auflösung für Bildaufnahme und Materialcharakterisierung sowie einer erhöhten Geschwindigkeit bei der Probenbearbeitung. Nanostrukturen, z.B. in Verbundwerkstoffen, Metallen, Biomaterialien oder Halbleitern, können gleichzeitig mit analytischen und bildgebenden Methoden untersucht werden. Proben lassen sich simultan modifizieren und beobachten, was in schneller Probenpräparation und hohem Durchsatz resultiert, z.B. bei der Anfertigung von Querschnitten, TEM-Lamellen oder beim Nanopatterning. Der Tandem decel-Modus ermöglicht neben der gesteigerten Auflösung eine Maximierung des Bildkontrasts bei niedrigen Landeenergien.

Mit der Gemini II Elektronenoptik werden optimale Auflösung bei Niederspannung und gleichzeitig hohem Strahlstrom erreicht.