Hochfrequenz-Vibrometer

Polytec stellt mit seinem UHF-120 Laserdoppler-Vibrometer ein neues Produkt vor, welches durch ein innovatives Design den Frequenzbereich auf 600 MHz und den Geschwindigkeitsbereich auf über 100m/s erweitert. Das neue Mess-System ist somit ideal für die Untersuchung höherfrequenter ­RF-MEMS oder auch von Ultraschall-Transducern mit ­hoher Genauigkeit. Auch kleine Strukturen wie NEMS oder Systeme mit kurzen akustischen Wellenlängen wie z.B. SAWs lassen sich aufgrund der kleinen Fokusgröße des Laserstahls mit hoher lateraler Auf­lösung charakterisieren. Die Möglichkeit, hohe Geschwindigkeiten auflösen zu können, ermöglicht jetzt auch die Charakterisierung von Hochleistungs-Ultraschall-Transducern. Das UHF-120 Laser­doppler-Vibrometer kann auch in Wafer-Probenstationen (auch in Vakuumprobenstationen) integriert werden.