Hochfrequenz Vibrometer - Charakterisierung der Dynamik von HF-Mikrosystembauteilen

Polytec stellt neues Hochfrequenz Vibrometer vor

Jetzt auch für den Frequenzbereich bis zu 600 MHz zur Charakterisierung der Dynamik von HF-Mikrosystembauteilen

Die Untersuchung der Dynamik von Mikrobauteilen wie MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) ist ein wichtiges Thema, sowohl in den Entwicklungsabteilungen zur Designverifizierung als auch in der Qualitätskontrolle für Routinemessungen z.B. auf Waferlevel. Die Laserdoppler Vibrometrie als berührungslose optische Messtechnik ist für solche Charakterisierungen zu einem unverzichtbaren Werkzeug geworden, denn man erhält das komplette Frequenzspektrum rückwirkungsfrei und phasenaufgelöst in „real time“ und kann z.B. Transienten und Abklingvorgänge untersuchen. Bisher waren die Messungen auf das Frequenzspektrum bis ca. 30MHz und auf Geschwindigkeiten bis 10m/s begrenzt.

Polytec stellt nun mit seinem UHF-120 Laserdoppler Vibrometer ein neues Produkt vor, welches durch ein innovatives Design den Frequenzbereich auf 600 MHz und den Geschwindigkeitsbereich auf über 100m/s erweitert. Das neue Polytec Mess-System ist somit ideal für die Untersuchung höherfrequenter RF-MEMS oder auch von Ultraschall-Transducern mit hoher Genauigkeit. Auch kleine Strukturen wie NEMS oder Systeme mit kurzen akustischen Wellenlängen wie z.B. SAWs lassen sich aufgrund der kleinen Fokusgröße des Laserstahls mit hoher lateraler Auflösung charakterisieren. Die Möglichkeit, hohe Geschwindigkeiten auflösen zu können ermöglicht jetzt auch die Charakterisierung von Hochleistungs- Ultraschall-Transducern. Das UHF-120 Laserdoppler Vibrometer kann auch in Wafer-Probenstationen (auch in Vakuumprobenstationen) integriert werden.

Mehr Infos und Live-Vorführung des Gerätes auf der Hannover Messe 2009: IVAM Messestand - in Halle 6 oder unter: www.polytec.de.