Induktiv Nanometer messen

IBS Precision Engineering stellt mit dem neuen ECL202 sein neues Topprodukt für berührungslose Abstandsmessung von Lion Precision vor. Die auf FPGA-Technologie basierende Elektronik des ECL202 bietet höchste Präzision für die induktive Messung mit Wirbelstromsensoren. Ein Mess-System setzt sich aus der Treiberelektronik und einem Wirbelstrom-Sensor zusammen. Mit den nun erreichten Kenngrößen zeigt das ECL202 beeindruckende Leistungen in Linearität und Auflösung. Es erreicht eine Auflösung von max. 0,007% des Messbereichumfanges für nicht-metallische Medien, sodass 80 nm Auflösung bei 100 Hz und 110 nm bei 15 KHz bei einem Messbereich von 1,25 mm möglich sind. Die Nichtlinearität über den gesamten Messbereich beträgt max. ±0,2%.