Ionen-Zerstäuberpumpen

Die neue Produktlinie von Oerlikon Leybold Vacuum hocheffizienter Ionen-Zerstäuberpumpen erfüllt die Forderung nach leistungsfähigen Vakuumpumpen für anspruchsvolle Aufgaben aus der Forschung und Entwicklung.

Ionen-Zerstäuberpumpen finden überall dort Anwendung, wo ein absolut sauberes und vibrationsfreies Ultra-Hochvakuum notwendig ist, z.B. bei hochempfindlichen Raster-Elektronen-Mikroskopen, in der Hochenergie-Physik, bei UHV-Aufdampftechnik (MBE) und in Bereichen der Nano-Technik.

Die Pumpen arbeiten nach dem Prinzip des Getterns reaktiver Gasteilchen bzw. Ionen­implantation von Edelgasen und erreichen eine hervorragende Pumpwirkung bis in den UHV-Bereich.

Die Ionen-Zerstäuberpumpen von Oerlikon Leybold Vacuum sind Diodenpumpen mit einem optimierten Saugvermögen für Edelgase. Sie sind für Saugvermögen (N2) von 30 l/s bis zu 400 l/s erhältlich