Neue kapazitive Einkanal-Controller zur Wegmessung

Drei neue kapazitive Controller für kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon versprechen ein sehr weites Anwendungsfeld. Diese neuen Elektroniken lösen die bestehende Serie capaNCDT 620 ab und bilden damit eine neue Einkanal-Lösung des Herstellers.

Das Modell capaNCDT 6300 lässt sich mit dem Begriff „hochauflösend“ bezeichnen. Es schafft eine Auflösung von bis zu zwei Nanometern und arbeitet mit einer Grenzfrequenz von 8 kHz. Zwischen Sensor und Elektronik ist ein Abstand von 1 m möglich.

Sollte die Applikation einen größeren Abstand zwischen Sensor und Auswerteelektronik fordern, kann dies durch die Serie capaNCDT 6310 realisiert werden. Diese Elektronik verfügt über einen externen Vorverstärker, der die Distanz zwischen Sensor und Auswerteelektronik auf max. 11 m erweitert. So kann der Sensor auch bei beengten Einbauverhältnissen durch den kompakten Vorverstärker eingesetzt werden.

Einsatzgebiete für die beiden neuen Controller sind überall dort, wo höchste Genauigkeit gefordert wird. Beispiel ist die Ausrichtung der Optiken bei der Belichtung von Wafern, wo es auf jeden Nanometer ankommt oder die Messung der Unwucht von zahnärztlichen Bohrern.

Der Controller capaNCDT 6350 lässt sich mit dem Begriff „extrem schnell“ treffend beschreiben. Er besitzt eine Grenzfrequenz von 50 kHz und detektiert damit auch schnellste Bewegungen. Bei diesem Gerät beträgt die maximale Distanz von Sensor zu Elektronik 2 m. Eine Erweiterung dieser Strecke ist nicht möglich. Dafür lässt sie sich auf spezielle Messobjekte linearisieren, damit die geleistete Präzision noch weiter steigt. Dieser Controller eignet sich für besonders schnelle Vorgänge. So können die Vibrationen der Elektroden beim Ultraschallschweißen – auch Sonotroden genannt – bestimmt werden, die durch kleinste Schwingungen die Schweißflächen an Kunststoffen zum Schmelzen bringen.

Als Ausgänge stellen alle Auswerteelektroniken ein Strom- und Spannungssignal zur Verfügung.

Alle drei Serien bieten die üblichen Vorzüge von Micro-Epsilon. So sind auch hier die Sensoren ohne erneute Kalibrierung der Auswerteelektronik wechselbar. Die Sensoren basieren auf dem Prinzip des Schutzringkondensators bieten eine besonders hohe Messgenauigkeit und Linearität. Das capaNCDT 6300 nützt auf eine analoge Schaltung und leistet deswegen diese hohe Präzision. Wegen der hohen Geschwindigkeit wurde beim capaNCDT 6350 ein digitaler Signalprozessor verwendet. Dieser ermöglicht es derartige Grenzfrequenzen zu erreichen.