Hohes Saugvermögen, hoher Gasdurchsatz

Pfeiffer Vacuum hat die Reihe der magnetgelagerten Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik durch die Himag 3400 erweitert. Die Himag 2400 und die HiMag 3400 zeichnen sich durch ein besonders hohes Saugvermögen, eine hohe Kompression und einen hohen Gasdurchsatz aus. Die Schutzklasse IP 54 macht die Pumpen besonders robust und somit industrietauglich. Sie sind vor Staub und Spritzwasser geschützt. Neben industriellen Anwendungen findet die Himag bei Beschichtungsprozessen, in Forschung & Entwicklung und der Halbleiterindustrie ihren Einsatz. Da die hohe Vorvakuumverträglichkeit ohne Holweck- oder Gaedestufe erreicht wird, ist der Einsatz auch in kritischen Prozessen (Partikelbelastung, hohe Gaslasten, korrosive Gase) sichergestellt. Eine permanente Rotorüberwachung über Sensorik unterstützt den stabilen Betrieb der Pumpen in jedem Betriebszustand. Die Pumpen sind vibrationsarm und damit in Applikationen einsetzbar, in denen geringste Vibrationen im niedrigen Frequenzbereich gefordert werden. Die Magnetlagerung macht die Pumpen wartungsfrei.