29.05.2007 • Sensorik

Neue kapazitive Einkanal-Controller zur Wegmessung

Drei neue kapazitive Controller für kapazitive Wegsensoren von Micro-Epsilon versprechen ein sehr weites Anwendungsfeld. Diese neuen Elektroniken lösen die bestehende Serie capaNCDT 620 ab und bilden damit eine neue Einkanal-Lösung des Herstellers. Das Modell capaNCDT 6300 lässt sich mit dem Begriff hochauflösend bezeichnen. Es schafft eine Auflösung von bis zu zwei Nanometern und arbeitet mit einer Grenzfrequenz von 8 kHz. Zwischen Sensor und Elektronik ist ein Abstand von 1 m möglich.

Highlights:

Für höchste Genauigkeit

Extrem schnell

Zur Ausrichtung der Optiken bei der Belichtung von Wafern

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Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG

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