Fizeau-Interferometer

Mit den VeriFireAT- und VeriFireMST-Geräten offeriert Zygo die Messtechnologie für höchste Ansprüche an Reproduzierbarkeit und Messgenauigkeit. Ersteres erreicht durch ein spezielles Beleuchtungssystem die Unterdrückung kohärenter Artefakte, wie z.B. die sog. „Bullseyes". Mit dem zweiten Gerät sind Anwendungsgebiete wie die Messung der linearen Homogenität erstmalig überhaupt realisierbar. Das patentierte FTPSI-Verfahren ermöglicht die simultane Vermessung von Vorder- und Rückseite planparaller Platten ohne Vorbehandlung der Rückseite! Das verbesserte optische System des neuen GPI-HS zusammen mit dem Einsatz einer digitalen Kamera resultiert in einer deutlich höheren Abbildungsqualität und Auflösung.