MCRT Minienvironments

Die Entwicklung der Reinraumtechnik weg vom Ballroom-Konzept verlangt Reinluftsysteme, die höchste Reinheit am Point-of-Use gewährleisten. Die MCRT GmbH hat hierzu ein modulares Minienvironment-System entwickelt: die MCRT Clean Air Management Systeme. Dies sind Reinluftsysteme, die an die jeweiligen Prozessmaschinen adaptiert werden. Hierbei werden über einen Druckraum mit Laminarverteiler-Luftauslass standardisierte Filter-Gebläse-Einheiten an das Tool angepasst. Dies erfordert auch bei verschiedenen Maschinentypen nur einen geringen Aufwand in der Vorhaltung von Ersatzteilen. Schwebstofffilter werden zwischen H14 und U17 eingesetzt (auch PTFE). Im Prozessbereich werden damit Reinraumklassen bis 2 gemäß DIN ISO 14644-1 erreicht. Die Systeme sind UL-, Sematech- und Semi-konform. Die Verpackung erfolgt in unserem eigenen Reinraum ebenfalls gemäß Semi-Standard.