3D Konfokales Oberflächen-Messsystem

• Optisch, berührungslos Einfache Bedienung
• Nanometer genau
• Robuste Technik

Höchste Genauigkeit bei einfachster Bedienung sind die herausragenden Merkmale der neuen Generation des bekannten konfokalen Oberflächenmessgeräts µSurf® von NanoFocus.
Das Messen von Oberflächenstrukturen auf Basis der von NanoFocus entwickelten schnellen Multi-Pinhole-Technik mit dynamischer Echtzeit-Synchronisation ist nachweislich die ideale Methode, technische Mikrostrukturen von Oberflächen exakt dreidimensional zu vermessen. Das robuste optomechanische Prinzip des NanoFocus µSurf® gewährleistet die präzise Wiedergabe auch komplexer Geometrien mit steilen Flanken und diskontinuierlichen Gebieten und macht es unempfindlich gegenüber mechanischen Schwingungen, wie sie häufig in einer Fertigungsumgebung auftreten.

Anwendungsgebiete

Tribologie: Topografie- und Rauheitsmessung von Blechoberflächen, Motorkomponenten, Kunststoffteilen zur Erfassung des Verschleißes und der Materialeigenschaften.
Feinbearbeitung: Messen von Form und Rauheit nach DIN EN ISO. Das µSurf® von NanoFocus erlaubt exaktes, mit Tastschnittgeräten vergleichbares, Messen von beliebigen Fertigungsverfahren.

MEMS: Form und Rauheit von Mikrospritzguss-Komponenten, Mikrolinsen aus Silizium, Glas oder Polymeren, Mikrogeometrie von Aktuatoren.

Elektronik, Halbleiter: Rauheit von Kontakten, Geometriemessungen in der Verbindungstechnik, Schichtdickenmessung, Waferkantengeometrie, Rauheit beim rückseitigen Waferschleifen.