Die neuen MEMS FPI Sensoren von Hamamatsu Photonics

Hamamatsu Photonics stellt seine neuesten Entwicklungen im Feld der MEMS-Technologie (Mikro-elektromechanische Systeme) vor: die MEMS FPI Spektrometer C13272-02 und C14272, Einelement-Detektoren, die mithilfe eines Fabry-Perot-Interferometers Spektralinformationen im Wellenlängenbereich von 1,55 μm – 1,85 μm bzw. 1,35 μm – 1,65 μm liefern.

In einer MEMS-Struktur kontrolliert elektrische Spannung den Abstand zwischen zwei Spiegeln. Die Größe dieses Abstands bestimmt die Wellenlänge des Lichts, das durchgelassen werden soll. Wird die Spannung zwischen diesen Spiegeln verändert, fungiert die Struktur als einstellbarer Filter. Der Benutzer hat also ein NIR-Spektrometer, allerdings deutlich preisgünstiger und kompakt wie ein Einelement-Sensor.

Die MEMS FPI sind in TO-5 Metallgehäusen aufgebaut, daher klein, kompakt und robust. Das C13272-02 ist für Wellenlängen von 1,55 μm – 1,85 μm ausgelegt und basiert auf einer Hamamatsu InGaAs PIN Photodiode mit einer aktiven Fläche von 100μm; das neue C14272 deckt den Wellenlängenbereich von 1,35 μm – 1,35 μm ab und hat eine aktive Fläche von 300μm. Beide MEMS FPI Spektrometer sind mit einem Bandpassfilter in den entsprechenden Bereichen aufgebaut.

Ein solches Bauteil eröffnet neue Möglichkeiten für Anwendungen wie Materialerkennung, atmosphärische Messungen und Anwendungen in Handgeräten, die kleine Bauteile und geringen Stromverbrauch erfordern.