Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop

Zeiss stellt das Crossbeam 550 vor, ein Fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-REM) für High-End-Anwendungen in Forschung und Industrie.

Es zeichnet sich sowohl durch eine gesteigerte Auflösung für die Bildaufnahme und Materialcharakterisierung als auch eine erhöhte Geschwindigkeit bei der Probenbearbeitung aus. Nanostrukturen, z.B. in Verbundwerkstoffen, Metallen, Biomaterialien oder Halbleitern, können gleichzeitig mit analytischen und bildgebenden Methoden untersucht werden. Das Mikroskop erlaubt es, Proben simultan zu modifizieren und zu beobachten, was in schneller Probenpräparation und hohem Durchsatz resultiert, z.B. bei der Anfertigung von Querschnitten, TEM-Lamellen oder beim Nanopatterning. Der Tandem decel-Modus ermöglicht neben der gesteigerten Auflösung eine Maximierung des Bildkontrasts bei niedrigen Landeenergien.

Mit der Gemini II Elektronenoptik werden optimale Auflösung bei Niederspannung und gleichzeitig hohem Strahlstrom erreicht.