Prozess-Tool zur Inspektion von Probe Cards

Nanofocus hat das neue Messsystem μsprint hp-opc 3000 für die optische Inspektion von Probe Cards in der Waferproduktion vorgestellt.

Dieses Inspektionssystem ermöglicht einen neuartigen Prozessschritt. Das Messsystem stellt die Unversehrtheit von Wafern nach dem Testvorgang sicher und trägt damit zur Reduzierung operativer Kosten, Minimierung von Yield-Verlusten und Qualitätssteigerung in der Waferproduktion bei. Eine Pilotanlage befindet sich bereits bei einem namhaften Hersteller von Halbleiterelementen erfolgreich im Einsatz. Weitere Aufträge werden für das 3. Quartal 2016 erwartet.