Instrumente für die Oberflächenmetrologie

Sensofar Metrology präsentiert zwei neue Metrologiesysteme: S Lynx – ein vielfältig einsetzbares, hochauflösendes, kontaktloses 3D-Oberflächenprofilometer, und S Onix – ein ultra-kompakter 3D-Oberflächensensor, der speziell für die präzise In-line-Prozessmessung und In-line-Prozesskontrolle in Hochgeschwindigkeit entwickelt wurde.

Das Design beider Instrumente ist perfekt auf eine schnelle, berührungslose Vermessung der 3D Mikro- und Nanogeometrie technischer Oberflächen ausgerichtet – einschließlich Rauheit, Textur und Strukturierung sowie Dicke.

Das neue S Lynx basiert auf einer mehr als 14-jährigen Erfahrung in der Entwicklung optischer Messtechniksysteme sowohl für den Bereich F&E als auch für die Industrie und konzentriert die Leistungsstärke eines High-End 3D-Oberflächenprofilometers innerhalb einer verkleinerten Plattform.

S Lynx setzt auf den 3-in-1-Lösungsansatz von Sensofar, indem es Konfokalmikroskopie, Interferometrie und Fokus-Variation in einem Sensorkopf vereint und somit eine besonders große Flexibilität bei der Erfassung von Oberflächentexturen und -strukturen unterschiedlicher Rauheit und Welligkeit in diversen Maßstäben – mit einer Auflösung von bis zu 0,1 nm.