EVT Particle Inspector

Für den Erhalt der einer sauberen und staubfreien Umgebung, wie z. B. in Reinräumen, hat EVT den Particle Inspector entwickelt. Anwendung findet dieser in Produktionsbereichen wie etwa der Mikroelektronik und Feinwerktechnik sowie für Biowissenschaften oder Gesundheitspflege.

Wie alle Gegenstände in Reinräumen ist auch der Particle Inspector nach ISO 14644 klassifiziert und nach VDI 2083 geprüft. Mit ihm kann der Grad an Staub, mikroskopische Fasern, Kleinstlebewesen und anderen Kontaminationsstoffen erkannt werden. Daher eignet sich der Inspector, um in produktionskritischen Positionen in der Arbeitsumgebung Messungen durchzuführen und Daten über Partikelverschmutzung zu sammeln. Der Verschmutzungsgrad und die Art der Verschmutzung sind essenziell für ein erfolgreiches Sauberkeitsmanagement. Er verfügt über eine Auflösung von 8 micron pro Pixel und eine Reproduzierbarkeit von 95 % für 20 Partikel. Der Messbereich erreicht bis zu 2.700 mm2 je nach gereinigter Glasplatte (witness plate) bei einer Messgeschwindigkeit von bis zu 60 s. Die Bilder werden digitalisiert und übertragen. Anschließend wird zum Analysieren und Verarbeiten der Bilddaten die EyeVision Software verwendet.