Planare Luftlagerplattform

Aerotech präsentiert mit dem PlanarHDX eine moderne, planare Luftlagerplattform.

Für die konstruktiven Elemente der Plattform hat das Unternehmen Siliciumcarbidkeramik verwendet. Dieses Material weist eine fünf Mal höhere Steifigkeit (Widerstandsmoment/ Dichte) als Aluminium und einen um circa fünf Mal niedrigeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf. Die Keramik sowie die FEMoptimierte Konstruktion ermöglichen eine Geschwindigkeit von 1,5 m/s und eine Spitzenbeschleunigung von 5 g bei einer Last von 20 kg. Dadurch wird ein hoher Durchsatz erzielt, ohne dass die dynamische Nachverfolgung, die geometrischen Eigenschaften oder die thermische Stabilität darunter leidet. Weitere Konstruktionsverbesserungen beinhalten eine neue Luftlager-Kompensationsstrategie, die zu einer größeren Steifigkeit und Lastkapazität für hochdynamische Anwendungen führt.

Viele erweiterte Steuerungsfunktionen wie automatische Anpassung der Reglerparameter, iterativ lernende Steuerung und Harmonic Cancellation stehen den Anwendern zur Verfügung.