Universeller Gasanalysator

Die Massenspektrometer der UGA-Serie von SI arbeiten von oberhalb Atmosphärendruck bis hinunter in den UHV-Bereich.

Die Nutzbarkeit der portablen Systeme erstreckt sich von der Online-Überwachung einzelner Prozessgase bis zur kompletten Analyse von Gasgemischen. Einsatzbereiche sind das große Feld der Halbleiter-, Brennstoffzellen-, Umwelt-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum- Anwendungen. Damit lässt sich nach Wasserstoff oder Spuren von Fremdstoffen, Lösemitteln, Kohlenwasserstoffen, Kühlmitteln oder korrosive Gasen suchen.

Das UGA enthält eine zweistufige Druckreduktionsstufe zur Abnahme von Proben bei Atmosphärendruck.