XL Desktop-REM mit großer Probenkammer

Mit dem neuen Phenom XL präsentiert Phenom-World ein kompaktes Desktop-Elektronenmikroskop mit einer großen Probenkammer mit den Dimensionen (X, Y, Z) 100 mm x 100 mm x 67 mm.

Es lassen sich entweder sehr große Proben oder bis zu 36 REM-Probenteller gleichzeitig in weniger als einer Minute einschleusen. Das Besondere ist das Sichtfeld von bis zu 100 mm x 100 mm im REM-Modus. Somit lässt sich jede Ecke des Probenraums im REM erfassen, oder eine Probe auf einer Länge von 140 mm. Die maximale Vergrößerung ist 100.000 x mit einer Auflösung von <=20 nm.

Das Phenom XL ist standardmäßig mit dem bewährten 4-Quadranten-Rückstreuelektronen-Detektor und der langlebigen CeB6-Hochleistungskathode ausgestattet. Optional kann ein Röntgen(EDX)-Detektor für die Elementanalyse, sowie ein Sekundärelektronendetektor für hochauflösende topografische REM-Bilder geordert werden. Das Phenom XL richtet sich speziell an Anwendungen, die entweder große Proben oder einen hohen Probendurchsatz, z. B. in der prozessnahen Qualitätssicherung, erfordern.