Back-Thinned CCD-Kamera

Die neue C8000-30-CCD-Kamera von Hamamatsu Photonics verfügt über den back-thinned frame transfer CCD-Chip aus eigener Fertigung mit hoher Quanteneffizienz, vor allem im ultravioletten Spektralbereich. Bei 157 nm beträgt sie 84 Prozent, bei 193 nm 57 Prozent und bei 248 nm 69 Prozent. Der Füllfaktor liegt bei 100 Prozent. Damit ist diese Kamera ein idealer Sensor für Anwendungen wie Maskeninspektion bei der UV-Lithografie und Optik- Charakterisierung.

Die breite spektrale Empfindlichkeit bis in den nahen Infrarotbereich bis 1.200 nm eröffnet Anwendungen bei der Inspektion von Si- Halbleiter-Komponenten. Das lineare Ansprechverhalten und die Auflösung von 640 x 480 Pixeln mit einer hohen Bildfolgefrequenz von mehr als 31 Hz gestatten quantitativ hochwertige Messungen auch von schnellen, dynamischen Vorgängen. Geringe Intensitätsunterschiede können bei einem Dynamikumfang von 3000:1 und einer 12 bit A/D-Wandlung zuverlässig erfasst werden.