Vielseitige Stylus und optische Profilometer

Die Alpha-Step Stylus Profilometer und MicroXAM optischen Profilometer von KLA-Tencor werden ab sofort in Zentral-, Ost- und Nord-Europa durch die Schaefer-Tec Gruppe angeboten. Profilometer und Oberflächen-Prüfgeräte von KLA-Tencor werden typischerweise in der Prozessentwicklung sowie in der Qualitätskontrolle eingesetzt.

Anwendungsgebiete sind Forschung und Entwicklung im Oberflächen- und Material-Bereich, Photovoltaik, Halbleitertechnik, MEMS, Optoelektronik und andere industrielle Metrologie-Anwendungen. Die Geräte zeichnen sich durch hohe Auflösung und Stabilität bei bis zu 300 mm langen Profilmessungen aus. Die Messung der Distanzen liegt im Mikrometer- und Nanometer-Bereich, mit vertikaler Auflösung bis zu sub-Angström. Der Verkauf wie auch der Reparatur Service wird durch Schaefer mit Büros in Deutschland, Polen, Schweiz und Rumänien durchgeführt.