Automatisierte Echtzeitüberwachung von Ätzbädern

Wafer durchlaufen bei ihrer Herstellung eine Vielzahl chemischer Prozesse. Hierbei kommen ätzende und gefährliche Stoffe zum Einsatz. Um die hohen Qualitätsanforderungen zu erfüllen, müssen die Bäder möglichst stabil gehalten werden. Hierzu ist eine kontinuierliche Kontrolle und ggf. Korrektur der Badzusammensetzung notwendig.

Diese Überprüfung erfolgte bisher durch manuelle Probennahme und einer spektroskopischen Analyse. Hellma Analytics realisiert eine Lösung mit einer faseroptischen Sonde die die Zusammensetzung in Echtzeit misst. Neben dem Zeitgewinn erhöht sich dadurch auch die Prozesssicherheit. Weiterer Vorteil ist die exakte Schichtdicke, die bestens reproduzierbare Messergebnisse garantiert. Häufiges Rekalibrieren entfällt dadurch.

Die Sonde ist via Lichtleiter mit einem Spektralfotometer verbunden. Die Einsatzbedingungen in aggressiven Medien stellen hohe Anforderungen an das Sondenmaterial. Durch den Einsatz von Teflon (PTFE) als Material für das Sondenrohr und Saphir für die optischen Komponenten wird die Beständigkeit jederzeit gewährleistet.