Integriertes, pneumatisches Absperrventil

Für die Vakuumbeschichtung und für Sputterverfahren bietet der MCV-Massenflussregler von Alicat Scientific die zum Erhalt der Produktintegrität erforderlichen engen Abschaltparameter. Sein integriertes Absperrventil wird normal geschlossen und bietet eine positive Abschaltung von max. 1 x 10-9 atm sccm/sec Helium.

Der Alicat MCV steuert einen Gasdurchsatz von 0,5 Normkubikzentimeter pro Minute bis zu 20 Normliter pro Minute mit einer Reaktionszeit von 50 bis 100 ms. Schnelle Reaktionszeiten können die Endprodukte der Vakuumbeschichtung erheblich verbessern und dabei helfen Zielvergiftungen zu beseitigen.

Mit vorprogrammierten Kalibrierungen für 30 Gase zeigt der MCV Massenstrom, Volumenstrom, Absolutdruck und Temperatur an. Die Vorrichtung kann direkt über die Tastatur des Instruments oder aus der Ferne über RS-232 (RS-485 ebenfalls erhältlich) programmiert werden. Der MCV verwendet die gleiche patentierte Laminarströmung-Differenzdrucktechnik wie alle Allicat Scientific Durchflussmessgeräte, wurde mit dem NIST-rückverfolgbaren Zertifikat versehen und trägt das CE-Zeichen.