Optische Messung von Mikro- und Nano- Oberflächenstrukturen

Kleine Strukturen, Oberflächenformen und Rauhigkeiten werden mit dem neuen Sensofar PLµ NEOX noch einfacher, schneller und vielseitiger gemessen. Die PLµ NEOX Geräte wird in Europa durch die Schaefer-Tec Gruppe betreut und verkauft.
Die optischen Profilometer der PLµ Serie zeichnen sich durch ihre einzigartige Kombination von konfokaler Mikroskopie und Interferometrie in einem Gerät aus und sind damit zur präzisen und hochaufgelösten 3D-Vermessung nahezu beliebiger Oberflächen einsetzbar. Durch die patentierte Microdisplay-Technik kann auf bewegte Teile im Messkopf verzichtet werden, was ein Höchstmass an vertikaler Auflösung im sub-Nanometer Bereich und sehr geringe Rauschpegel garantiert.

Das neue PLµ NEOX führt dieses bewährte Konzept konsequent weiter, baut aber den Funktionsumfang der Geräte noch einmal erheblich aus. Es ist mit einer zweiten Kamera zur Überlagerung von Echtfarbenbildern ausgestattet und die, nebst dem Weisslicht, zusätzliche Verwendung blauen LED Lichts zur Messung erlaubt höchstmögliche laterale Auflösung. Optional erhältlich ist ein ankoppelbarer spektraler Reflektometer, der die Schichtdickenbestimmung von transparenten Schichten zwischen 10nm und 40µm mit einer Auflösung von 0.1nm erlaubt.
Ein hohes Mass an Programmierbarkeit erlaubt weitgehende Automatisierung des Messvorgangs. Die Ergebnisse können anschliessend automatisiert nach beliebigen, erstellbaren Vorlagen ausgewertet werden.