Sensoren leisten Nanometerauflösung bei -269°C

Neue kapazitive Sensoren der Serie capaNCDT von Micro-Epsilon liefern auch bei 4 Kelvin Umgebungstemperatur Nanometerauflösung. Speziell für die besonders niedrigen Umgebungstemperaturen wurden diese Sensoren entwickelt. Die Sensoren müssen bei -269°C identische Ergebnisse liefern wie bei Raumtemperatur. Möglich ist dies durch den Einsatz ganz spezieller Werkstoffe für Sensor und Kabel und eine neuartige Konstruktion, die sehr stabile Messergebnisse liefert.

Die Sensoren werden durch die extremen Umgebungsbedingungen nicht beeinflusst. Sie werden beispielsweise in Nano-Positioniereinheiten für Rasterkraftmikroskope verwendet. Während der Messung sind die im Ultrahochvakuum befindlichen Sensoren den extremen Temperaturen und starken elektromagnetischen Feldern ausgesetzt. Dennoch erreichen Sie eine Genauigkeit von unter 5 nm.

Die Sensoren können mit allen verfügbaren Controllern der capaNCDT Serie betrieben werden. Je nach Kundenwunsch und der erforderlichen Stückzahlen werden die Sensoren in verschiedenen Messbereichen gefertigt. Als Spezialist für kundenspezifische Lösungen können die Sensoren auch für andere spezielle Umgebungen und Einsatzgebiete modifiziert werden.