Neue Potentiale bei der Wafer- und Solarzellen-Herstellung

Die berührungslose und gleichzeitig äußerst genaue Schichtdicken- und Abstandsmessung mit interferometrisch arbeitenden Messsystemen hat sich bei der Halbleiter-Herstellung mittlerweile bewährt. Zu dieser Familie gehört auch der neue CHRocodile-MI5-Sensor von Precitec Optronik. Technologischer Kern des neuen Geräts ist der bereits im Solar- und Halbleiterbereich eta­blierte CHRocodile-IT-Sensor. Dieser durchleuchtet das zu vermessende Material von nur einer Seite mit In­frarotlicht. Das von Ober- und Unterseite zurück reflektierte Licht wertet er anschließend mittels Fourieranalyse aus berechnet daraus die exakte Schichtdicke des Halbleitermaterials. Mit dem neuen CHRocodile MI5 bietet man jetzt eine flexible Alternative zur mehrkanaligen Vermessung von Wafern und Solarzellen.