3-D-Charakterisierung von Werkstücken

Eine Komplettlösung für den Einsatz von Topografie-Messsystemen auf der Basis der scannenden Weißlicht-Interferometrie stellt Polytec vor. Das System beinhaltet ein scannendes Weißlichtinterferometer, ein Schutzgehäuse mit leichtem Überdruck gegen Staubeindringung, einen aktiv geregelten ­Vibrationsdämpfertisch zur Dämpfung von Umgebungsschwingungen, eine Werkstück-Positioniereinheit zur automatischen Vermessungen von mehreren Proben sowie einen Touchscreen Monitor. Damit steht dem Anwender ein robustes und leicht zu bedienendes System zur Verfügung. Entsprechend der Applikation kann z.B. ein großflächig messendes Weißlichtinterferometer zur Vermessung von Ebenheiten, Parallelitäten, Höhen oder Oberflächenparameter mit einem z-Scanbereich bis 70 mm gewählt werden.