2D-/3D-Messungen im Sub-Mikrobereich

Die neuen 2D-/3D-Laserscan-Farbmikroskope des Unternehmens Keyence, Neu-Isenburg, kombinieren den Komfort eines herkömmlichen optischen Mikroskops mit den Vorzügen eines Rasterelektronenmikroskops und den Analysefunktionen eines Oberflächen-/Rauheitsmessgeräts. Das Topmodell VK-9700 bietet eine maximale Auflösung von 0,001 µm (= 1 Nanometer; entspricht etwa einer Strecke von vier benachbarten Metallatomen) und Vergrößerungen bis 18.000x. Das Modell VK-8700 weist eine Messauflösung von 0,01 µm und Vergrößerungen bis 12.000x auf.

Damit lassen sich Metallgefüge und Werkstofffehler wie Poren, Mikrolunker, Gasblasen, Risse, Seigerungen ebenso analysieren wie Feinstpartikelmessungen (Nanotechnologie) vornehmen oder Halbleiterstrukturen visualisieren.

Das Objekt wird einfach auf den Objekttisch gelegt, der Startknopf gedrückt und schon ist das gewünschte Ergebnis vorhanden. Die Objekte müssen also nicht erst bedampft, zerschnitten oder sonst wie vorbereitet werden. Die räumliche Darstellung mit großer Tiefenschärfe ist vergleichbar mit denen mittels REMs, da ein kurzwelliger, violetter Laserstrahl eingesetzt wird. Die hochauflösenden Bilder in Echtfarben sind mit denen eines herkömmlichen optischen Mikroskops vergleichbar, während die Messgenauigkeit dank der maximale Auflösung von 0,001 µm die selbst hochempfindlicher Oberflächen-/ Rauheitsmessgeräte weit übertrifft. Zudem findet eine berührungslose 2D-/3D-Messung statt, so dass das zu messende Objekt nicht beeinträchtigt wird.

Die VK-Mikroskope ermöglichen vielfältige 2D- und 3D-Messungen wie Profilmessungen, Vergleichsmessungen zwischen Querschnittsprofilen, die schon erwähnten Rauheitsmessungen, 3D-Messungen, Oberflächentextur-Messungen sowie anderes mehr.