Neue Neigungs-, Beschleunigungs- und Vibrations­sensoren

Die a.b.jödden stellt neue Sensoren zur Messung der Neigung, Beschleunigung und Vibration vor. Die kapazitiv messenden Sensoren sind hochgenau und mechanisch sehr belastbar. (Auflösung bis 0,0004° oder 15 µg). Die Sensoren beruhen auf ­einer weiterentwickelten bulk micro-machined-MEMS Technologie. Die dreidimensionale Struktur (3-D-MEMS) dieser Sensoren beinhaltet ein Pendel aus einkristallinem Silizium. Dieses ist hermetisch zwischen zwei Siliziumplatten eingeschlossen. Daraus resultiert ein langzeitstabiler, hochauflösender und schockfester Sensor. Eine Gasdämpfung im Messelement verhindert ein Überschwingen und störende Resonanzschwingungen. Die Pendelbewegung wird kapazitiv mit einem ASIC gemessen. Die Messelemente werden in kleine, robuste ­Metallgehäuse montiert und vergossen. Die Sensoren benötigen bei einem Ausgangssignal von 0,54,5 VDC eine Betriebsspannung von 5 VDC oder 735 VDC und können bei Temperaturen zwischen 40°C und +100°C eingesetzt werden.

Whitepaper-Download (130 KB)