Optische Komponenten
Bevorzugte Anwendungsgebiete für das kurzwellige UV - Licht sind die Augenchirurgie, Mikrolithographie, Lasermaterialbearbeitung und Spektroskopie. Das Herstellen von UV - Optikkomponenten erfordert langjährige Erfahrung in Design, Fertigungstechnik und Beschichtung sowie den Einsatz einer geeigneten Messtechnik. Die Schlüsselkompetenzen sind die Oberflächenbearbeitung und das Beschichten der Optiken. Für das Erstellen von optischen Systemen ist zusätzlich die Anwendung einer entsprechend präzisen Fassungstechnik erforderlich.
Feinstpolierte Oberfläche + Exakte Flächenform + UV Coating knowhow + Professionelles Handling = UV Optik
Excimer Laser Optik
Standard Excimer Mirror Coating
| λ | R | R45o | Zerstörschwelle |
| 157 nm | >=91% | >=89% | 0,3-0,75 J/cm2 |
| 193 nm | >=97% | >=97% | 4 - 7 J/cm2 |
| 248 nm | >=91% | >=89% | 4 - 7 J/cm2 |
| 308 nm | >=91% | >=89% | 4 - 7 J/cm2 |
| 353 nm | >=91% | >=89% | 4 - 7 J/cm2 |
Kundenspez. Excimer AR - Beschichtungen für Lasertyp:
F2 - ArF - KrF - XeCl - XeF
R <= 0,3 % / 0,5 % @157 & 193 nm
Nd:YAG Laser Optik
Standard Nd:YAG Mirror Coating
| λ | R | R45o | Zerstörschwelle |
| 212 nm | >=95% | >=92% | |
| 266 nm | >=98% | >=98% | 4 - 7 J/cm2 |
| 355 nm | >=99% | >=98% | 4 - 7 J/cm2 |
Kundenspezifische AR - Nd:YAG Beschichtungen:
| λ | R | R45o |
| 212 nm | >=0,5% | 266 nm <= 0,3 % |
| 355 nm | >=0,5% | 532 / 1064 nm <= 0,25 % |
Optische Filter Standard & kundenspez.
Bandpassfilter 122 - 320nm - Bandbreite 10 - 100 nm
Band Rejection Filter - Long Pass Filter ( "Cold Mirror" )
Neutraldichtefilter - Reflektionsfilter - Solar Blind Filter
- Alle Filter sind mit entsprechender Fassung lieferbar
- Einzelqualitätsnachweis auf Anfrage
Spezial - Komponenten
Materialien
UV Lasergrade Fused Silica - VUV MgF - VUV CaF - LiF 2 2
Flächenform <= /10 @633nm - 20-10 S/D // < 3'
UV Achromate - Dispersionsprismen - Scanspiegel
Fokusierlinsen (sphärisch & zylindrisch), Design für 250nm
UV / VUV Coating ϕ 0,5" - 12"
Antireflection Coating
V Coating - Breitbandmehrfachschichten 120 - 250 nm
Breitband und Multi - Band UV-VIS
High End AR - Beschichtung für Laseroptiken
Silber / Gold - Schutzschichten
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