Sill Optics stellt das F-Theta Objektiv S4LFT3260/126 für 1.064 nm vor, alle optischen Komponenten sind aus Quarz. Die Brennweite des Objektivs ist 277 mm. Mit einem 15 mm Strahl kann ein Bearbeitungsfeld von ca. 142 x 142 mm erreicht werden. Der durchschnittliche Spot im Feld ist etwa 33 µm, die Spotvariation im gesamten Feld beträgt nur ca. 6%. Mit einem 10 mm Strahl ergibt sich ein mittlerer Spot von ca. 50 µm bei einer Variation von kleiner 4% innerhalb eines 178 mm x 178 mm Feldes. Die Strahl- und Fokusdurchmesser sind als 1/e² Werte zu verstehen und gelten für einen idealen Gaußschen Laserstrahl.