Miniaturisierter Drucksensor im IC-Gehäuse

Mit der neuen Serie SM5822 und SM5872 stellt die Firma Amsys betriebsbereite Drucksensoren der SMI Inc. vor, die universell einsetzbar und als SMD-Bauteil reflowfähig sind. Diese Sensoren in der Bauform SO16 (w), die aus der IC-Fertigung bekannt ist, enthalten einen komplexen CMOS-Siliziumchip, auf dem sowohl die Druckmesszelle als auch die gesamte Auswerteelektronik monolithisch integriert wurden. Diese Kombination von Mikrostrukturtechnik und Mikroelektronik auf einem Siliziumchip ermöglicht die elektronische Kalibration der Ausgangswerte und die notwendige Störgrößenkompensation während der Herstellung, so dass der Anwender keine weiteren Arbeitsschritte vornehmen muss. Die Deräte der neuen Serie sind echte Ready-To-Use-Produkte und bieten einen Leistungsumfang, der nur aufgrund modernster Halbleitertechnik erreicht werden kann.