Massenspektrometer

Mit dem PrismaPlus bietet Pfeiffer Vacuum ein neues Massenspektrometer für die qualitative und quantitative Gasanalyse sowie zur Lecksuche an. Die Kombination hoher Empfindlichkeit mit Stabilität und intelligenter Bedienbarkeit ist das Plus des Massenspektrometers Prisma­Plus. Im täglichen Einsatz profitiert der Anwender von dem robusten, kompakten Aufbau und der einfachen Systemintegration. Pfeiffer Vacuum hat eine langjährige kunden- und anwendungsspezifische Erfahrung im Bereich der Massenspektrometrie. Aufgrund der Auswahlmöglichkeiten von Massenbereichen, Detektoren und Ionenquellen sowie der Schnittstellenoptionen sind Einsatzmöglichkeiten bei industriellen und analytischen Anwendungen, in der Forschung & Entwicklung, bei der Lecksuche und Halbleiterproduktion sowie in der Beschichtungstechnik möglich. Auch für Anwendungen zur Qualitätssicherung und Restgasanalyse bis hin zu komplexen, quantitativen Aufgabenstellungen ist das System einsetzbar. Es liefert höchst präzise Ergebnisse in drei verschiedenen Massenbereichen bis zu einer Nachweisgrenze von 1 x 10-14 mbar. Je nach Anwendung kann zwischen 1100, 1200 und 1300 amu ausgewählt werden. Kleinste Verunreinigungen in der Vakuumanlage können in kürzester Zeit aufgedeckt werden. Verschiedene Detektoren stehen zur Verfügung. Das Massenspektrometer kann außer zur Anzeige von auswählbaren Partialdrücken auch zur Überwachung des Totaldrucks durch direkten Anschluss einer Messröhre eingesetzt werden. Die Software Quadera ist nicht nur leicht zu bedienen, sondern bietet auch eine übersichtliche Plattform für die Aufnahme und Darstellung sämtlicher Messdaten sowie von Parametersätzen.