Integrierte Testsysteme für einen schnelleren und einfacheren Test von Halbleitern

Keithley Instruments, Inc. ein führender Anbieter von Messtechnik-Lösungen, stellt mit dem ACS (Automated Characterization Suite) integrierte Testsysteme für die Charakterisierung von Halbleitern auf Bauteil-, Wafer- und Kassetten-Ebene vor. Mit den integrierten ACS Testsystemen kann Keithley vielfältig konfigurierbare und flexible Testsysteme für die Halbleiter-Charakterisierung anbieten, die einzigartige Messmöglichkeiten mit einer leistungsfähigen automatisierungs-orientierten Software kombinieren. Die ACS-Testsysteme ermöglichen dadurch schnellere Messungen und bieten eine größere Systemflexibilität unter einer einheitlichen Software-Suite für alle Testanforderungen.

Unter der durchgängigen Automated Characterization Suite, der integrierten ACS Testsysteme von Keithley, sind vielfältige Testhardware und einzigartige umfassende Messmöglichkeiten zusammengefasst:

• Keithleys leistungsfähige Halbleiter-Charakterisierungssystem-Modell 4200-SCS mit I-V Source-Measure- und speziellen Pulsstest-Möglichkeiten, wie das Paket 4200-PIV für den Test von fortgeschrittenen Halbleitermaterialien.
• Die SourceMeter®-Instrumente der Serie 2600 mit TSP-LinkTM und Test Script Processor (TSP) TM für I-V-Systeme mit skalierbarer Kanalzahl sowie schnelle parallele Messungen und komplexe Testfolgen für Anwendungen wie On-the-fly NBTI oder eine On-Wafer-Bauteilcharakterisierung.
• SourceMeter®-Instrumente der Serie 2400 mit Möglichkeiten zur Einspeisung hoher Spannungen und hoher Ströme, speziell für Anwendungenwie leistungsfähige MOSFETs und Display-Treiber.
• Optionale Schaltlösungen, C-Meter und Impulsgeneratoren runden die Möglichkeiten der integrierten ACS Testsysteme ab.
• Die integrierten ACS Testsysteme sind als einfache Benchtop-Konfigurationen oder als vollständig fabrikintegrierte Rack-Konfigurationen verfügbar.
  

Neue Testherausforderungen

Die Halbleitertestingenieure stehen heute einer ganzen Reihe von
Testherausforderungen gegenüber. Einerseits sind unterschiedliche
einzigartige Messungen und neuartige Verfahren für moderne Technologien wie Scaled CMOS, LDMOS und fortschrittliche Speichertechnologien notwendig.

Andererseits erfordern die neuen Technologien mehr Tests und eine
umfangreichere Datenerfassung in kürzerer Zeit und mit weniger Ressourcen. Bis jetzt haben sich die Halbleitertestingenieure hauptsächlich auf Geräte verlassen, die einerseits zwar eine hohe Flexibilität und einzigartige Messungen bieten, andererseits aber eine eigene oder externe Softwareentwicklung erfordern, was sich allerdings negativ auf die Time-to-Market und die Testkosten auswirkt. Keithley´s integrierten ACS-Testsysteme wurden speziell im Hinblick auf diese Anforderungen entwickelt und zeichnen sich durch eine hohe Flexibilität und einzigartige Messmöglichkeiten der Instrumente sowie die notwendige Software für die Flexibilität und Automatisierung aus. Die neuen ACS Testsysteme von Keithley sind ideal für die parametrische Charakterisierung von Halbleitern in der Forschung und Entwicklung, der Technologieentwicklung (TD), der Qualitätssicherung/Zuverlässigkeitsprüfung (QRA) und für den Produktionstest von Kleinserien.

Die Automatisierung auf Wafer- und Kassettenebenen ermöglicht einen selbstständigeren Test und die Erfassung von großen statistischen Datenmengen für die Modellierung und Prozessqualifikation sowie für eine Maximierung der Tool-Auslastung. Auf Wafer-Ebene beinhalten die integrierten ACS Testsysteme von Keithley eine Wafer Description Utility und eine Wafer Map. Der Anwender kann dadurch einfach Wafer-Beschreibungsdateien mit integrierten Testplänen erstellen. Farbcodierte Wafer Maps werden in Echtzeit während der Testausführung aktualisiert und zeigen die Pass/Fail-Metrik, so dass eine klare Transparenz der Testergebnisse und produktive Testergebnisse gewährleistet werden können.

Eine weitere Innovation ist der interaktive Prober-Controller. Dieser erlaubt eine Steuerung der Wafer-Bewegungen mittels der ACS-Software während der Testentwicklung, um den Test-Setup anhand der konkreten Strukturen zu validieren und während der Los-Disposition zu einem Problembereich des Wafers zu navigieren und manuell bestimmte Tests auszuführen. Eine Reihe von Treibern ermöglicht die nahtlose Integration unterschiedlichster halb- und vollautomatischer Prober.

Die integrierten ACS Testsysteme von Keithley sind entsprechend den
Halbleiteranwendungen von Keithley und den kundenspezifischen Anpassungen voll konfiguriert und integriert. Dies beinhaltet Testroutinen wie Makros, Skripts, und kundenspezifische GUIs, sowie alle Verbindungen wie Kabel, Schaltlösungen und Probe Card Anpassung, aber auch Installation, Training und Applikationsdienstleistungen.

Verfügbarkeit

Die Kosten der integrierten ACS Testsysteme von Keithley sind von der
jeweiligen Konfiguration und den kundenspezifischen Optionen abhängig. Die Systeme sind ab sofort verfügbar.