Ellipsometer für Dünnfilm-Messung

Mikropack hat ein kompaktes und bedienerfreundliches spektroskopisches Tisch-Ellipsometer für die Dünnfilm-Messung auf den Markt gebracht. Das SpecEL-2000-VIS eignet sich ideal für halbtransparente flache Proben wie Wafer oder Glasplatten und misst Schichtdicke, Brechungsindex, Absorption und Komponentenverhältnis schnell und präzise auf Knopfdruck. Das günstige All-in-one-System ist mit breitbandiger Lichtquelle, einem Spektrometer und zwei drehenden Polarisatoren ausgerüstet. Zum Lieferumfang gehören ein 32-Bit-Windows-PC mit benutzerfreundlicher Software. Das System misst polarisiertes Licht, das von der Oberfläche des Substrats reflektiert wird, um so die Schichtdicke und den Brechungsindex des Materials als Funktion der Wellenlänge zu bestimmen. Je nach Schicht und Substratmaterial kann das Gerät Schichtdicken zwischen 1 Nanometer und 5 Mikrometern und Brechungsindizes über das gesamte Spektrum erkennen. Nachdem eine Probe auf den Probentisch gelegt wird, erfolgt auf Knopfdruck eine sekundenschnelle Analyse. Mit der Software lassen sich Experimentiermethoden konfigurieren und für eine Ein-Schritt-Analyse speichern. Die leistungsstarke Analysesoftware bietet eine Reihe von Modellieroptionen wie z.B. Cauchy, OJL,Tauc-Lorentz, Drude, EMA und verschiedene Oszillatortypen. Im Gegensatz zur Reflektometrie misst die spektroskopische Ellipsometrie statt der absoluten Intensität die relativen Änderungen in der Phase und Amplitude des Lichts. Die Ellipsometrie ist daher unabhängig von Referenzmessungen und kann mehrere Parameter gleichzeitig bestimmen.

Mikropack GmbH

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