Minienvironments mit Stickstoffspülung oder extremer Entfeuchtung

In immer mehr Reinraumfertigungen werden auch gasförmige Kontaminationen und Luftfeuchtigkeit während der Fertigung vom Produkt ferngehalten. Die MCRT hat Minienvironments entwickelt, die mit Stickstoff oder entfeuchteter Luft betrieben werden. Um den Verbrauch an Stickstoff oder entfeuchteter Luft möglichst gering zu halten, arbeitet das System im Umluft­betrieb. Stickstoff muss werkseitig zur Verfügung gestellt werden. Entfeuchtete Luft kann in einem zum Minienvironment gehörigen Hochleistungslufttrockner selbst erzeugt oder werkseitig zur Verfügung gestellt werden. Schwebstofffilter werden zwischen H14 und U17 eingesetzt (auch PTFE). Im Prozessbereich werden damit Reinraumklassen bis 2 gemäß DIN ISO 14644-1 unter Stickstoff­atmosphäre oder entfeuchteter Luft erreicht. Die Systeme sind UL-, Sematech- und Semi-konform.MCRT Micro CleanRoom Technology GmbHTel.: 0641/94886-0 · buero@mcrt.de · www.mcrt.de